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          長興凱翔電爐科技有限公司

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          退火爐有哪些結構組成?

          2020-07-18

          退火爐是用于制造半導體器件的過程,該過程涉及加熱多個半導體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在達到不同的效果。 可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉變成薄膜,或者將薄膜轉變成晶片襯底界面,制成致密沉積的薄膜,改變生長薄膜的狀態,注入損傷,移動摻雜劑 或移動摻雜劑將試劑從一層膜轉移到另一層,或從膜轉移到晶圓基板。

          熱處理爐分為退火爐,淬火爐,回火爐,正火爐和回火爐。 它們主要用于大型碳鋼和合金鋼零件的退火; 表面硬化零件已回火; 用于應力消除退火,時效和焊接零件的其他熱處理工藝。 加熱方法包括電加熱,石油,天然氣,煤炭和熱空氣循環。 退火爐是一種新型的熱交換設備。 退火爐是一種具有超節能結構和纖維結構的節能定期操作爐,可節電60%。

          退火爐框架由各種鋼材焊接而成,外部框架由槽鋼作為主梁,外圍板由冷板和小車組成。

          槽鋼用作主梁,底板以及前后板為中間板。

          退火爐的驅動部分:小車由電動機和減速器驅動,前輪驅動輪由鏈條驅動。 爐門由蝸輪蝸桿減速器和電動機組合驅動,以上下移動。

          密封:小車和爐體密封成迷宮式結構,小車兩側都有自動防砂刀密封裝置。 爐門密封采用輥壓和彈簧壓緊的自動機構。 爐體采用耐火磚結構,確保爐腔的氣密性。 手推車的耐壓部分使用高鋁磚,下部使用隔熱磚進行保溫。

          退火爐燃燒系統:在油爐的兩側安裝了多個燃燒器,熱量在爐內循環以確保均勻的爐溫。 根據需要選擇自動類型和半自動類型。

          排氣預熱裝置:排氣預熱裝置安裝在爐子的上端。 當爐內的煙氣通過預熱器時,將風扇送至冷空氣進行預熱,然后將管道送至燃燒器進行燃燒支撐,并在出口處安裝一個手動蝶閥,該蝶閥可調節 爐壓力。 它廣泛用于化學,石油,食品,冶金,機械,輕工,電力,造船,造紙,采礦,醫藥和集中供熱行業的加熱,冷卻,冷凝,蒸發和其他過程。

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          退火爐

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